การวัดและควบคุมการไหลของไอ (Vapour Flow)
การวัดและควบคุมการไหลของไอ
เทคโนโลยี CEM (Controlled Evaporation Mixing) แบบเฉพาะของ Bronkhorst ถูกออกแบบมาเพื่อให้การควบคุมการไหลของไอมีความแม่นยำและเสถียร
เมื่อเทียบกับระบบ bubbler แบบดั้งเดิม ซึ่งมีข้อจำกัดในการจัดการของเหลวที่มีความดันไอต่ำ และไม่สามารถสร้างไอจากของเหลวผสมได้อย่างรวดเร็ว เทคโนโลยี CEM สามารถแก้ไขปัญหาเหล่านี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ พร้อมให้การควบคุมไอที่แม่นยำและตอบสนองได้รวดเร็ว
เทคโนโลยีการระเหยของ Bronkhorst ให้ความรวดเร็ว แม่นยำ มีความสามารถในการทำซ้ำสูง และมีประสิทธิภาพในการทำงาน
CEM-Technology: Controlled Evaporation Mixing
ระบบ CEM (Controlled Evaporation and Mixing) เป็นระบบ Liquid Delivery System (LDS) ที่มีนวัตกรรมสูง สามารถใช้งานได้ทั้งในกระบวนการที่ความดันบรรยากาศและระบบสุญญากาศ
ระบบสร้างไอ (Vapour Generation System) ประกอบด้วย
• เครื่องควบคุมการไหลของของเหลว (แบบ Thermal หรือ Coriolis)
• เครื่องควบคุมการไหลของแก๊ส (MFC) สำหรับ carrier gas
• ชุดผสมและระเหยที่ควบคุมอุณหภูมิ (Temperature Controlled Mixing & Evaporation Unit)
ระบบสามารถรองรับการผสมของของเหลวในช่วง 1–1200 g/h และสร้างไออิ่มตัวในช่วง 50 mln/min ถึง 100 ln/min
ระบบ vaporiser นี้สามารถ ทดแทนระบบ bubbler แบบดั้งเดิม ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
คุณลักษณะของผลิตภัณฑ์
- ควบคุมอัตราส่วนผสมของแก๊สและของเหลวได้อย่างแม่นยำ (Accurately Controlled Gas/Liquid Mixture)
- การตอบสนองรวดเร็ว (Fast Response)
- ความสามารถในการทำซ้ำสูง (High Reproducibility)
- การไหลของไอมีความเสถียรสูง (Very Stable Vapour Flow)
- สามารถเลือกปรับอัตราส่วนแก๊ส/ของเหลวได้อย่างยืดหยุ่น (Flexible Gas/Liquid Ratio Selection)
- อุณหภูมิการทำงานต่ำกว่าระบบแบบดั้งเดิม (Lower Working Temperature than Conventional Systems)
- รองรับการควบคุมผ่าน PC/PLC (RS232/Fieldbus) เป็นตัวเลือกเพิ่มเติม (Optional Control)
Video Vapour Delivery Modules
วิดีโอนี้นำเสนอโซลูชันแบบ All-in-One สำหรับการควบคุมการไหลของไออย่างแม่นยำพร้อมการตอบสนองที่รวดเร็วและความยืดหยุ่นสูง ด้วย VDM-Series Vapour Delivery Modules
VDM-Series: Vapour Delivery Modules
จากเทคโนโลยี CEM (Controlled Evaporation and Mixing) ที่กล่าวถึงข้างต้น เราได้พัฒนา Vapour Delivery Modules (VDM-Series) รุ่นใหม่ขึ้นมา
โมดูลแบบ Compact Sub-system นี้ได้รวมองค์ประกอบหลักของระบบ CEM และฟังก์ชันเพิ่มเติมไว้ในเครื่องเดียว ไม่ว่าจะเป็น
• เครื่องควบคุมการไหลของแก๊สและของเหลว
• ชุดระเหยที่ควบคุมอุณหภูมิ
• ระบบจ่ายไฟในตัว พร้อมหน้าจอแสดงผล TFT ขนาด 1.8 นิ้ว และฟังก์ชันควบคุม
นอกจากนี้ยังมีตัวเลือกสำหรับการควบคุมอุณหภูมิของ Trace Heating ได้ทั้งแบบ Local และ Remote
โมดูลแบบ “Plug & Work” นี้สามารถสร้างไอ (Vapour) ได้ในช่วง 100 mln/min ถึง 10 ln/min และรองรับการใช้งานทั้งในระบบ ความดันบรรยากาศและสุญญากาศ
พร้อมความสามารถในการ
• ระเหยของเหลวผสม (Liquid Mixtures)
• ระเหยสารของแข็งที่ละลายในตัวทำละลายได้อย่างมีประสิทธิภาพ
คุณสมบัติเพิ่มเติม (เมื่อเทียบกับการใช้งานแยกอุปกรณ์ในระบบ CEM)
- ไม่ต้องออกแบบหรือผลิตระบบเพิ่มเติม (No Need for Engineering or Manufacturing)
- ผ่านการทดสอบพร้อมใช้งาน ปลอดภัยและเชื่อถือได้ (Pre-tested, Safe & Ready to Use)
- มีหน้าจอและแผงควบคุมในตัว พร้อมจอแสดงผล TFT ขนาด 1.8 นิ้ว, ฟังก์ชัน Alarm / Signaling / Counter
- รองรับ Fieldbus Interface ในตัว (Optional)
การใช้งาน (Applications)
- กระบวนการ CVD (Chemical Vapour Deposition) เช่น การเพิ่มความแข็ง การเคลือบฟิล์มบาง หรือการปรับผิวให้เรียบ (Planarisation)
- การทดสอบและสอบเทียบเครื่องวิเคราะห์ (Analyser) ด้วยความเข้มข้นของไอแก๊สอ้างอิง
- การทดสอบผลกระทบของแก๊สพิษต่อชุดป้องกัน (Protective Clothing)
- เครื่องวิเคราะห์ที่ต้องใช้ความเข้มข้นของไอน้ำ (H₂O Vapour) เป็นค่าอ้างอิง
- การเพิ่มความชื้นให้กับเชื้อเพลิง (Fuel Humidification)
- งานด้านวิสัญญี (Anaesthetics)
- การทดลองหรือกระบวนการดูดซับ (Sorption) ในอุตสาหกรรมยาและอาหาร
กรณีศึกษา (Application Stories)
- การควบคุมการจ่ายสารโพลิเมอร์เพื่อเพิ่มคุณสมบัติกันน้ำให้สิ่งทอControlled supply of polymer precursors to make fabrics and textiles water-repellent
- ระบบ Vaporizer สำหรับการปรับสภาพพื้นผิวแก้วVaporizer system for glass surface treatment
- การควบคุมความชื้นในงานทางการแพทย์และทันตกรรมControlled humidification for orthopeadic and dental application
- การควบคุมกระบวนการในอุตสาหกรรมเซลล์แสงอาทิตย์ (PV)Use of flow control in photovoltaic (PV) solar cell production
- การเคลือบ Aluminium Oxide สำหรับการเพิ่มประสิทธิภาพเซลล์แสงอาทิตย์Applying aluminium oxide passivation layers on solar cells
- งานวิจัยและพัฒนา Graphene คุณภาพสูงVapour solution used in research for high-quality graphene production
Source: Zeton BV